纳米位移台的电气噪声如何影响位移精度
纳米位移台是一种高精度运动控制设备,常用于需要高分辨率和精度的应用中,如光学对准、扫描探针显微镜、半导体制造、和单分子操纵等。然而,电气噪声对纳米位移台的位移精度有着显著的影响,这种影响可能会降低系统的整体性能,并导致测量和定位误差。
电气噪声的来源
电源噪声: 来自电源的电压波动或纹波(如开关电源...
如何在纳米位移台中设计抗振动和抗噪声措施
在纳米位移台中设计抗振动和抗噪声措施是确保其高精度和高稳定性的重要环节。纳米位移台的性能容易受到环境振动和电气噪声的影响,导致精度下降和误差增加。以下是一些有效的抗振动和抗噪声措施的设计策略:
1. 抗振动措施
a. 机械隔振
隔振平台: 使用被动或主动隔振平台(如气浮隔振平台、弹簧隔振平台)将纳米位移台与...