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纳米位移台如何避免样品安装时的应力影响?

纳米位移台如何避免样品安装时的应力影响?

2025-06-04新闻, 行业资讯
在纳米位移台操作中,样品安装时的应力会显著影响测量精度和样品完整性。以下是避免应力影响的关键方法,以清晰条目式呈现: 一、样品预处理 表面平整化 对刚性样品(如硅片)进行机械或化学抛光,确保安装面粗糙度<1μm。 柔性样品(如薄膜)可贴合在预拉伸的弹性基底上,释放后自然展平。 尺寸适配 样品尺寸需略小于载...
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