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压电二维纳米位移台 XYMF-133-lODA，为长行程纳米平移台，具有分辨率高，行程大，带有高精度及高分辨率的位置反馈，操作简单，定位糟准，能在真空下使用等优点，其中XYMF-133-100A平移台可实现在XY二维空间上的准确定位，可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。 压电二维纳米位移台使用压电陶瓷驱动，运动无需...

压电旋转纳米位移台RF系列，通过压电陶瓷驱动，具有定位准确，位置保持性好，自带锁紧，能360°旋转等优点。在增强位置反馈模块后，可实现高精度及高分辨率的开环/闭环控制，适用于大气及真空环境下工作。 压电旋转纳米位移台RF系列应用： 1、电子显微镜原位纳米探针台。 2、半导体芯片检测。 3、光刻机工件台。 4、微生...

压电驱动纳米位移台，使用压电陶瓷作为运动促动元件，可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的Z小步长，从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。 压电纳米位移台优势： 1、结构紧凑，高刚性。 2、高精度柔性铰链导向...

今天卓聚科技小编来给大家介绍一下等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的技术基础。 1、等离子体增强化学气相沉积的主要过程 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。由于PECVD技术是通过应气体放电来制备薄膜...

等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD) 等离子体增强化学气相沉积-制取方法 在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。等离子体增强化学气相沉积是：在化学气相沉积中，激发气体，使其产生低温等离子体，增强反应物...

压电纳米位移台是通过压电马达驱动控制的电动位移台，不同于传统的步进马达，直线电机，电磁马达等驱动形式，压电马达是利用逆压电效应的原理，通过压电陶瓷在电场作用下（一般在共振状态下）产生的形变，由摩擦耦合推动滑台动子的运动，从而驱动平台的位置移动。压电纳米位移台断电时保持自锁，从而不消耗能量，不发热...